Технология материалов электронной техники
Kitob mualliflari
В.В.Крапухин,
И.А.Соколов,
Г.Д.Кузнецов,
Во втором издании учебника (первое вышло в 1982 г.) на современном
уровне представлены общие положения термодинамики необратимых процессов;
закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и д в иж у щейся
средах, макрокинетнки гетерогенных процессов; математическое описание
двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и
сечения'. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика
широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой
и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов
получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые
изложены методы нетермической активации и плазмохимнческне процессы,
причины возникновения дефекто в при ионном воздействии на материалы.
Fan yoʻnalishi: |
| Amaliy fanlar |
|
UDK |
621.382 |
Kitob nashriyoti nomi: |
Мисис |
Kitob nashr qilingan shahar:
|
Москва |
ISBN: |
5-87623-004-9 |
Kitob nashr qilingan yili: |
1995 Yil |
Betlar Soni: |
496 |